Sản xuất chip được mệnh danh là viên ngọc quý của nền công nghiệp hiện đại và cũng là ngành công nghiệp cao cấp mà Trung Quốc đang chú trọng.
Mặc dù các lĩnh vực ứng dụng của vật liệu polyurethane chủ yếu tập trung vào các ngành công nghiệp như cách nhiệt xây dựng, đồ nội thất và thiết bị, ô tô, giày dép và quần áo, nhưng cũng có bóng dáng của vật liệu polyurethane trong sản xuất chip - chẳng hạn như miếng đánh bóng CMP.
CMP được phát triển trên cơ sở đánh bóng hóa học và đánh bóng cơ học nhưng đồng thời khắc phục được những khuyết điểm của đánh bóng cơ học và đánh bóng hóa học truyền thống.
Thiết bị CMP bao gồm ba mô-đun chính: đánh bóng, làm sạch và truyền động. Trong quá trình vận hành, đầu đánh bóng ép bề mặt của wafer cần đánh bóng vào miếng đánh bóng thô và đạt được độ phẳng toàn cầu với sự trợ giúp của việc đánh bóng chất lỏng ăn mòn, ma sát hạt, ma sát của miếng đánh bóng, v.v.
Các thiết bị và vật tư tiêu hao được sử dụng trong công nghệ CMP bao gồm: máy đánh bóng, bùn đánh bóng, miếng đánh bóng, thiết bị làm sạch sau CMP, thiết bị phát hiện điểm cuối và kiểm soát quá trình đánh bóng, thiết bị kiểm tra và xử lý chất thải, v.v.
Máy đánh bóng, bùn đánh bóng và miếng đánh bóng là ba yếu tố chính của quy trình CMP. Hiệu suất và sự phù hợp lẫn nhau của chúng quyết định mức độ nhẵn bề mặt mà CMP có thể đạt được. Trong quá trình đánh bóng, hai vật liệu quan trọng nhất là dung dịch đánh bóng và miếng đánh bóng.
Miếng đánh bóng CMP được yêu cầu phải có khả năng chống ăn mòn, ưa nước và có tính chất cơ học tốt. Phổ biến nhất được làm từ bọt polyurethane dạng tế bào cứng với kiểu rãnh hẹp, tỷ lệ khung hình cao. Polyurethane có độ đàn hồi và chống mài mòn tốt, đồng thời có thể duy trì hiệu suất tương đối ổn định dưới tác động của mài mòn liên tục. Đồng thời, trong quá trình đánh bóng, các micropores (tính chất cơ học và tính chất xốp thấm nước) trên bề mặt của miếng đánh bóng polyurethane tạo bọt cứng có thể làm mềm và làm nhám bề mặt của miếng đánh bóng và có thể giữ các hạt mài mòn ở lại. chất lỏng đánh bóng.
Các vi lỗ này cũng có thể thu thập các vật liệu loại bỏ trong quá trình xử lý, vận chuyển chất lỏng đánh bóng và đảm bảo ăn mòn hóa học, điều này có lợi cho việc cải thiện tính đồng nhất của quá trình đánh bóng và hiệu quả đánh bóng.
Chú phổ biến: polyurethane cho miếng đánh bóng cmp, polyurethane Trung Quốc cho nhà sản xuất, nhà cung cấp, nhà máy sản xuất miếng đánh bóng cmp
